0638太阳集团

 
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  • 平台简介

0638太阳集团微纳加工与测试平台成立于2020年,现有实验面积500平方米。平台面向校内外用户提供个性化高精尖科研支持服务,特别注重学生能力培养和提升。通过平台专业培训后,学生可亲自动手操作所有设备,实现对复杂微纳加工工艺和条件的探索,支撑高质量研究成果的产出。


  • 平台设备

超净间非超净间
扫描电子显微镜&电子束曝光综合物性测量系统(PPMS)
电子束曝光系统热蒸发镀膜仪
紫外直写光刻机原子力显微镜(室温)Cypher
紫外光刻机(需掩模版原子力显微镜(室温)Park
反应离子刻蚀机(RIE)单晶和粉末X射线衍射仪
等离子体刻蚀系统X射线单晶Laue定向仪 
电子束蒸发+热蒸发金属镀膜 光学浮区炉
热蒸发&电子束蒸镀设备半导体器件参数分析仪
原子层沉积系统(ALD)超声焊线机 
等离子体灰化机,等离子体清洗机,光学显微镜,甩胶机,加热板,真空干燥箱临界点干燥仪





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